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热门关键词：
1. 极限真空度 ≤ 10⁻⁴Pa，60分钟达到高真空
2. 316L 镜面不锈钢内胆，精 8K 镜面满焊处理
3. PID 智能控温，控温精度 ±2.0℃，环绕式辐射加热
4. 日本三菱 PLC + 威纶通 7 寸触摸屏全自动控制
5. 螺杆干泵 + 分子泵双级泵组，进口/国产可选
6. 独立氮气置换系统，SMC 电磁阀精准控制
7. 门上预留 RGA 检测口，可检测残余气体成分
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PRODUCT OVERVIEW
德菲瑞斯高真空释气烘箱专为半导体设备配件、新材料等行业的高精度真空烘烤需求设计，广泛应用于材 料释气处理、真空干燥、器件老化测试等工艺。设备采用 316L 镜面不锈钢内胆与双级真空泵组组合，可实现 10⁻⁴Pa 级高真空环境；配合 PID 智能温控与环绕式辐射加热系统，确保真空环境下温度均匀性。整机由日本三菱 PLC 控制，支持工艺参数设定、数据记录与多重安全保护，满足高端制造业对真空烘烤设备的严苛要求。
TECHNICAL PARAMETERS
| 设备型号 | DFS-1200ZKHVNDS |
|---|---|
| 内胆尺寸（宽×深×高） | 1200 × 1000 × 1000 mm |
| 整机尺寸（宽×深×高） | 约 2100 × 1400 × 1700 mm |
| 控温范围 | RT+20 ~ 250℃ |
| 温度分辨率 | ±0.1℃ |
| 温控精度 | ±2.0℃ |
| 升温速率 | ≤ 10℃/min |
| 真空度 | ≤ 10⁻⁴Pa（空载，约 60min 达到） |
| 外壳温度 | ＜ RT+25℃（炉壁大面积处） |
| 内胆材质 | 316L 镜面不锈钢，t=6mm，精 8K 镜面满焊处理 |
| 外壳材质 | SUS304 耐指纹拉丝不锈钢板，t=2mm |
| 真空泵品牌 | 进口品牌：爱德华/莱宝/爱发科 |
| 内部结构 | 内部配备子母车，方便物料烘烤 |
| 电源要求 | AC380V ± 10% / 50Hz / 35KW |
| 备 注 | 可按照用户需求定制 |
PRODUCT FEATURES
内胆采用316L 镜面不锈钢内胆，t=6mm，精 8K 镜面处理，满焊工艺确保密封性；
外壳采用 SUS304 耐指纹拉丝不锈钢，t=2mm， 满焊密封处理。
螺杆干泵 + 分子泵双级泵组，极限真空度 ≤ 10⁻⁴Pa；316L 不锈钢管路，KF 快拆接口，自动抽真空一键启动。
不锈钢无缝电热管，环绕式辐射加热；PID 智能温控 + SSR 固态继电器，控温精度 ±2.0℃，真空环境温度均匀。
日本三菱 PLC + 台湾威纶通 7 寸触摸屏；支持温度/真空/定时控制、数据记录、工艺流程设定与声光报警。
漏电、超温、短路多重保护；独立超温保护仪紧急切断；安全急停开关 + 三色指示灯，确保设备运行安全。
日本 SMC 电磁阀，独立进气口设计，避免直吹物料；配气体流量计，用于真空置换后精准补气恢复环境。
CORE CONFIGURATION
采用螺杆干泵 + 分子泵双级泵组组合，极限真空度可达 10⁻⁴Pa。配置数显真空计、真空插板阀（波纹密封）、316L 不锈钢真空管路及 KF 系列快拆接口，确保绝佳气密性。真空泵品牌可选（进口爱德华/莱宝/爱发科，国产鲍斯/中科科仪），支持 PLC 一键自动抽真空。
采用日本三菱 PLC 作为控制核心，配合台湾威纶通 7 寸彩色触摸屏人机界面。Omron 温控器实现 PID 智能控温，Schneider 低压电器保障电气可靠性。系统支持温度曲线记录、真空度实时显示、工艺参数预设、定时保温、超温报警、 数据导出等功能，满足工业级自动化生产需求。
OUR CLIENTS
扬杰科技、士兰微、华润微、华大半导体、大唐半导体、智芯微电子、杭州士兰微、中国电子、圣邦微电子等。
南大光电、鼎龙股份、中环半导体、西安隆基、阳光能源、江丰电子材料、有研新材料、上海新阳、江化微、 国科天骥、富创精密、先锋半导体、富士迈、江丰、新莱、美商、微导、先导。
深圳新凯来、晶盛电机、中微半导体、上海微电子、拓荆科技、中电科电子装备集团、无锡微导、无锡先导等。
华虹宏力、赛微电子、吉林华微电子、苏州固锝、扬杰科技、士兰微、上海贝岭、先进半导体、芯原股份、方 正微电子、富西等。
长电科技、华天科技、通富微电、晟碟半导体、矽品等。
三安光电、乾照光电、士兰明芯、圆融光电、晶科电子、华联电子等。
歌尔声学、航天电子、华天科技、航天机电、士兰微、苏州固锝、汉威电子、中航电测、三诺生物、新联电子 、上海贝岭等。
日亚化学、湖南杉杉、厦门钨业、振华新材等。
贝特瑞、上海杉杉、江西紫宸等。
住友化学等。
新宙帮、多氟多、三井化学、森田化学、关东电化、江苏国泰等。
扬杰科技、华微电子、苏州固锝、凯虹科技、华联电子、华润微电子、中环半导体、东晨电子等。
海力士等。
舜宇光学等。
舜宇、欧菲光、欧姆龙康等。
松下、欧姆龙康等。
中车时代、比亚迪等。
三星电机、风华高科、火炬电子。
矽创、联咏、奇景、格科微、旭耀、天利、天域、瑞鼎、瑞萨、新向微、奕力等。
天马、TCL显示、中光电、亿华等。
京东方、天马、龙腾、中电熊猫、维信诺、友达、维信等。
比亚迪微电子、汇顶科技、思立微、矽创、贝特莱等。
欧姆龙通、欧菲光、伯恩光学、联创、胜大、旭顶、华兴达、京东方等。
安费诺、申泰、住友电气、立讯精密、中航光电、长盈精密、航天电器、航天电子、欧姆龙康、连展科技等。
